双轴驱动机构及固晶机

主权项

一种双轴驱动机构，其特征为，具有：处理部；具备第1活动部和第1固定部可使上述处理部沿着第1线性导件昇降的第1线性马达；具备第2活动部和第2固定部可使上述处理部朝垂直于上述昇降方向的水平方向移动的第2线性马达；上述第1固定部固定用的支撑体；设置在上述支撑体和上述第2固定部之间，可使上述第2固定部自由移动的第2线性导件；可检测出相对于上述支撑体之上述第1活动部的上述水平方向位置之线性感测器；及可根据上述线性感测器的输出对上述第1活动部的上述水平方向位置进行控制的控制部。