| 摘要 |
Тестовая ячейка для контроля качества изготовления диодов Шоттки, состоящая из рабочего диода Шоттки, сформированного на эпитаксиальной структуре одного типа проводимости и содержащего охранное кольцо другого типа проводимости, внутри которого сформированы блокирующие p-n переходы того же типа проводимости, что и охранное кольцо, и контакт Шоттки, отличающаяся тем, что тестовая ячейка содержит первый дополнительный диод Шоттки такой же конструкции, как и рабочий, площадь которого в 4 раза больше или меньше, чем площадь рабочего диода, а периметр соответственно в 2 раза больше или меньше, чем периметр рабочего диода, и второй дополнительный диод Шоттки такого же размера, как и рабочий, но выполненный без блокирующих p-n переходов. |
