| 摘要 |
1. Автоматизированная установка для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом молекулярного наслаивания, содержащая держатель образца, выполненный с возможностью перемещения, сосуды для жидкостей для погружения в них образца, держатель сосудов с гнездами для линейного последовательного расположения сосудов и с возможностью термического воздействия на сосуды, блок управления и компьютер, отличающаяся тем, что держатель образца и сосуды для жидкостей выполнены из токопроводящего материала, каждое гнездо для расположения сосуда имеет корпус кольцеобразной формы, внутри которого размещен нагреватель, на каждый из сосудов закреплен съемный термодатчик, при этом под держателем сосудов расположен блок управления, с которым электрически связаны держатель образца, корпуса гнезд для расположения сосудов, нагреватели и съемные термодатчики.2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что токопроводящий материал держателя образца выбирают из ряда: графит, нержавеющая сталь, медь, алюминий.3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что токопроводящий материал сосудов для жидкостей выбирают из ряда: графит, нержавеющая сталь, алюминий.4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что вся конструкция установки, за исключением компьютера, находится в герметичном боксе с инертной средой.5. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что перемещение держателя образца обеспечивают механизмы вертикального и горизонтального перемещений, каждый из которых состоит из направляющих, механизма "винт - гайка" и двигателя. |
