PLASMA-ENHANCED SYNTHESIS

摘要

본 발명은, 적어도 하나의 반응 파트너가 기체 형태로 존재하고 플라즈마 구역으로부터 반응 물질에 의해 여기되며, 기상 또는 기체 형태로 반응 챔버에 존재하는 적어도 하나의 추가의 반응 파트너에 의해 후속하여 반응하는, 할로겐화된 폴리실란 및 폴리게르만의 플라즈마 증가 합성 방법 및 장치를 개발하는 데 도움을 주는 것을 기초로 한다. 그룹 SiCl, SiF, GeCl, GeF의 할로겐 실란 또는 게르만과 H의 반응이 가능하다.