METHOD FOR FABRICATING WIRE GRID POLARIZER AND WIRE GRID POLARIZER USING THE METHOD THEREOF

摘要

본 발명은 와이어 그리드 편광자 제조방법에 관한 것으로, (a) 도전층, 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층이 순차적으로 적층된 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 제2 하드 마스크층 상에 패턴화된 레지스트층을 형성하는 단계; (c) 상기 패턴화된 레지스트층을 이용하여 제2 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; (d) 상기 패터닝된 제2 하드 마스크층을 이용하여 제1 하드 마스크층을 패터닝하는 단계; 및 (e) 상기 패터닝된 제1 하드 마스크층 및 제2 하드 마스크층을 이용하여 도전층을 패터닝하는 단계를 포함한다.