圧電素子を有する応力型半導体検出器

摘要

圧電半導体材料よりなる少なくとも１つの能動検出層を含む検出素子と；使用時に検出素子に作用することにより、その内部に所定の応力パターンと、したがって圧電効果による所定の電界とを発生させるように配列された応力誘起素子と；を含む半導体検出装置が開示されている。これらの原理を具体化させた半導体検出装置の製造方法及び操作方法も開示されている。