| 发明名称 | 一种小型真空蒸镀仪 | ||
| 摘要 | 本发明揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。本发明的小型真空热蒸发镀膜仪体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用。 | ||
| 申请公布号 | CN105018884A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201510457194.2 | 申请日期 | 2015.07.30 |
| 申请人 | 苏州方昇光电装备技术有限公司 | 发明人 | 廖良生;武启飞;陈敏 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人 | 陆明耀;陈忠辉 |
| 主权项 | 一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，其特征在于：所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区星湖街218号A4-102 | ||