| 发明名称 | 复合基板、弹性波装置及弹性波装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 一种复合基板10，其是将压电基板12与热膨胀系数比压电基板12低的支撑基板14粘合在一起所形成的复合基板。支撑基板14通过以刀片可剥离的强度将由相同材料制成的第1基板14a和第2基板14b以直接接合方式接合在一起来形成，并以第1基板14a中的第1基板14a与第2基板14b的接合面的相反一侧的表面，与压电基板12粘合在一起。 | ||
| 申请公布号 | CN105027436A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201480009131.4 | 申请日期 | 2014.02.18 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 服部良祐;堀裕二;多井知义 |
| 分类号 | H03H9/25(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H03H3/08(2006.01)I;H03H9/145(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/25(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 李晓 |
| 主权项 | 一种复合基板，所述复合基板是将压电基板与热膨胀系数比该压电基板低的支撑基板贴合在一起所形成的复合基板，其中，所述支撑基板通过以刀片可剥离的强度将由相同材料制成的第1基板和第2基板以直接接合方式接合在一起来形成，并以所述第1基板中与所述第2基板的接合面的相反一侧的表面，与所述压电基板贴合在一起。 | ||
| 地址 | 日本爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 | ||