发明名称 划线结构及其形成方法
摘要 本发明提供了一种示例性器件,该器件包括管芯、沿着管芯的侧壁延伸的模塑料,以及位于管芯和模塑料上方的第一聚合物层。第一聚合物层具有第一横向尺寸。该器件还包括位于第一聚合物层上方的第二聚合物层。第二聚合物层具有第二横向尺寸,其中,第二横向尺寸小于第一横向尺寸。本发明还涉及划线结构及其形成方法。
申请公布号 CN105023837A 申请公布日期 2015.11.04
申请号 CN201410373955.1 申请日期 2014.07.31
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 郭宏瑞;陈宪伟
分类号 H01L21/301(2006.01)I;H01L23/28(2006.01)I 主分类号 H01L21/301(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种器件,包括:管芯;模塑料,沿着所述管芯的侧壁延伸;第一聚合物层,位于所述管芯和所述模塑料上方,所述第一聚合物层具有第一横向尺寸;以及第二聚合物层,位于所述第一聚合物层上方,所述第二聚合物层具有第二横向尺寸,其中,所述第二横向尺寸小于所述第一横向尺寸。
地址 中国台湾新竹