一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法

摘要

一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法。它涉及到在光纤光栅表面用铝金属膜修饰制作增强型光纤光栅温度传感器制造方法。本发明解决了传统光纤光栅温度传感器灵敏度较低而导致分辨力较低的问题。在光纤光栅表面沉积铝膜，在高于660℃～700℃条件下真空处理带铝膜的光纤光栅，使铝膜呈熔融状态，并保持一段恒温状态再冷却，得到致密一体化铝膜，进而改善铝膜的温度线胀特性的重复性和稳定性。利用镀膜的毛细玻璃管作为360°光刻掩模版，利用旋转360°光刻方法，实现对光纤光栅表面上的铝膜进行光刻胶掩模保护。用本发明方法能够提高增强型光纤光栅温度传感器的检测灵敏度和分辨力，提高温度检测精度。

主权项

一种铝修饰增强型光纤光栅温度传感器制造方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：采用石英Bragg光栅，剥离涂覆层，清除包层表面的有机介质，有机溶剂清洗，纯水清洗；步骤二：采用物理沉积方法，在光纤光栅表面沉积铝薄膜；步骤三：采用真空热处理工艺，对光纤光栅表面沉积铝薄膜进行熔融状态的热稳定化处理；步骤四：采用镀金属膜薄壁毛细玻璃管作为360°掩模版,采用旋转360°光刻方法，实现对覆盖在Bragg光栅表面上的铝薄膜进行光刻胶保护，其它部分光刻胶去除；步骤五：利用湿法腐蚀工艺，腐蚀并去除覆盖Bragg光栅以外的铝膜；步骤六：利用除膜剂去除剩余光刻胶，纯水反复清洗直到洗净可溶性杂质；步骤七：利用光纤覆膜机涂覆聚酰亚胺材料，包封被铝金属膜的裸露的Bragg光栅；步骤八：形成增强型光纤光栅温度传感器。