一种应用于微电子的整平剂组合物及其用于金属电沉积的方法

摘要

本公开涉及一种电沉积金属技术中用到的整平剂组合物。该组合物包含式(I)的化合物：

主权项

一种用于金属电沉积的整平剂组合物，包含式(I)的化合物：其中X为Cl^‑或Br^‑；R¹为O、S或N；R²、R³和R⁴是独立的选自于由氢、未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的烯基、未取代的或取代的炔基、未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基、未取代的或取代的3‑12元杂环和未取代的或取代的5‑12元杂芳基组成的组；或者R²和R³可以与其连接的一个或多个原子组合以形成未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的3‑12元杂环、未取代的或取代的C_6‑12芳基、或未取代的或取代的5‑至12‑元杂芳基；Y¹、Y²、Y³、Y⁴、Y⁵、Y⁶、Y⁷和Y⁸是独立的选自由氢、卤素、未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的烯基、未取代的或取代的炔基、未取代的或取代的C_3‑12环烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基、未取代的或取代的3‑12元杂环和未取代的或取代的5‑12元杂芳基组成的组；以及L选自由未取代的或取代的烷基、未取代的或取代的C_6‑12芳基和未取代的或取代的3‑12元杂环基组成的组。