发明名称 |
一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统 |
摘要 |
本发明公开了一种用于强流电子注分析仪的可移动极间距电子枪系统,包括一个主真空腔体和位于主真空腔体内的电子枪,所述主真空腔体横向水平安置。所述电子枪系统还包括一个同心轴组件,其从所述主真空腔体的后端水平插入,并且,其一端位于所述主真空腔体内,另一端延伸于所述主真空腔体)外。所述电子枪包括一个阳极、一个阴极和一个栅极,且所述阴极和所述栅极安装在所述同心轴组件上。本发明可以实现强流电子枪系统各电极之间距离在热测过程中独立调节,可以通过优化实验设计得到最佳电子枪系统几何参数,这比目前分析器电子枪系统成百倍地节省时间、人力、物力。并且,本发明的电子枪可加到100kV,并能横向接入大型强流电子注分析仪中使用。 |
申请公布号 |
CN103376343B |
申请公布日期 |
2015.11.04 |
申请号 |
CN201210132572.6 |
申请日期 |
2012.04.28 |
申请人 |
中国科学院电子学研究所 |
发明人 |
阮存军;李庆生;吴迅雷;李崇山;李彦峰 |
分类号 |
H01J29/48(2006.01)I;H01J3/02(2006.01)I;G01R1/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J29/48(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
宋焰琴 |
主权项 |
一种用于强流电子注分析仪的电子枪系统,包括一个主真空腔体(301)和位于该主真空腔体(301)内的电子枪,所述电子枪包括一个阳极(7)、一个阴极(8)和一个栅极(9),所述主真空腔体(301)包括一个用于将所述阳极(7)引出所述主真空腔体(301)外的低压馈电头(17),其特征在于:所述主真空腔体(301)横向水平安置;所述电子枪系统还包括一个同心轴组件(302),其水平插入所述主真空腔体(301),并且,其一端位于所述主真空腔体(301)内,另一端延伸于所述主真空腔体(301)外;所述阴极(8)和所述栅极(9)安装在所述同心轴组件(302)上,所述同心轴组件(302)用于使所述阴极(8)和所述栅极(9)分别沿同心轴组件(302)的轴向进行运动和定位;所述同心轴组件(302)包括阴极内同心轴(4)和栅极外同心轴(5),所述阴极内同心轴(4)和所述栅极外同心轴(5)内外相套,所述阴极内同心轴(4)位于主真空腔体(301)内的一端,用于安置所述阴极(8);所述栅极外同心轴(5)位于主真空腔体(301)内的一端,用于安置所述栅极(9)。 |
地址 |
100080 北京市海淀区北四环西路19号 |