发明名称 一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机
摘要 一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机,本实用新型的技术方案要点是,一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机,在放卷辊的后方设置有水平辊,水平辊的后方设置有后驱动轮装置,后驱动轮装置的后方设置有抛光辊机构,抛光辊机构的下方设置有清洗液收集装置,抛光辊前面、抛光辊机构的辊与辊之间设有抛光液喷淋装置,抛光辊机构的后方设有前驱动轮装置,前驱动轮装置的后方设有导轮,导轮的后方设有清洗机构,清洗机构的后方设有风淋装置,风淋装置的下方设有清洗液收集装置,风淋装置的后方设有收卷辊。本实用新型具有结构简单、成本低廉的优点。
申请公布号 CN204736066U 申请公布日期 2015.11.04
申请号 CN201520405228.9 申请日期 2015.06.13
申请人 河南科技学院 发明人 苏建修;王占奎;姚建国;李勇峰;庞子瑞;马利杰;程海丰;付素芳
分类号 B24B29/02(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I;B24B57/00(2006.01)I 主分类号 B24B29/02(2006.01)I
代理机构 新乡市平原专利有限责任公司 41107 代理人 吕振安
主权项 一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机,它包括放卷辊,收卷辊、水平辊,粗抛光辊机构、精抛光辊机构、清洗机构、抛光液喷淋装置、清洗液收集装置,其特征在于:放卷辊的后方设置有水平辊,水平辊的后方设置有后驱动轮装置,后驱动轮装置的后方设置有抛光辊机构,抛光辊机构的下方设置有清洗液收集装置,抛光辊前面、抛光辊机构的辊与辊之间设有抛光液喷淋装置,抛光辊机构的后方设有前驱动轮装置,前驱动轮装置的后方设有导轮,导轮的后方设有清洗机构,清洗机构的后方设有风淋装置,风淋装置的下方设有清洗液收集装置,风淋装置的后方设有收卷辊。
地址 453003 河南省新乡市华兰大道东段河南科技学院