发明名称 蚀刻剂和使用该蚀刻剂制造显示装置的方法
摘要 本发明公开了一种蚀刻剂和一种使用该蚀刻剂制造显示装置的方法。
申请公布号 CN105018930A 申请公布日期 2015.11.04
申请号 CN201510187631.3 申请日期 2015.04.20
申请人 东友精细化工有限公司 发明人 鞠仁说;南基龙;朴英哲;刘仁浩;尹暎晋;李昔准
分类号 C23F1/18(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I 主分类号 C23F1/18(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人 徐川;姚开丽
主权项 一种蚀刻剂,包含:0.5wt%~20wt%的过硫酸盐;0.01wt%~2wt%的氟化合物;1wt%~10wt%的无机酸;0.5wt%~5wt%的含氮原子的杂环化合物;0.1wt%~5wt%的氯化合物;0.05wt%~3wt%的铜盐;0.1wt%~10wt%的有机酸或有机酸盐;0.1wt%~5wt%的供电子化合物;以及余量的溶剂。
地址 韩国全罗北道