发明名称 | 蚀刻剂和使用该蚀刻剂制造显示装置的方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种蚀刻剂和一种使用该蚀刻剂制造显示装置的方法。 | ||
申请公布号 | CN105018930A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
申请号 | CN201510187631.3 | 申请日期 | 2015.04.20 |
申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 鞠仁说;南基龙;朴英哲;刘仁浩;尹暎晋;李昔准 |
分类号 | C23F1/18(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 徐川;姚开丽 |
主权项 | 一种蚀刻剂,包含:0.5wt%~20wt%的过硫酸盐;0.01wt%~2wt%的氟化合物;1wt%~10wt%的无机酸;0.5wt%~5wt%的含氮原子的杂环化合物;0.1wt%~5wt%的氯化合物;0.05wt%~3wt%的铜盐;0.1wt%~10wt%的有机酸或有机酸盐;0.1wt%~5wt%的供电子化合物;以及余量的溶剂。 | ||
地址 | 韩国全罗北道 |