DEVICES TO DETECT A SUBSTANCE AND METHODS OF PRODUCING SUCH A DEVICE

摘要

물질을 검출하기 위한 디바이스 및 이러한 디바이스를 제조하는 방법을 개시한다. 물질을 검출하기 위한 일례의 디바이스는 제1 챔버를 형성하는 오리피스 플레이트를 포함한다. 오리피스 플레이트에 기판이 결합된다. 기판은 제1 챔버 내에 위치된 나노구조를 포함한다. 나노구조는 물질에 노출되는 때에 물질에 반응할 것이다. 나노구조를 조기 노출로부터 보호하기 위해 시일이 제1 챔버의 적어도 일부분을 둘러싼다.