METHOD OF TREATING A SURFACE OF AT LEAST ONE PART BY MEANS OF INDIVIDUAL SOURCES OF AN ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA

摘要

본 발명의 방법은 개별의 발생원(2)의 하나 이상의 고정된 선형 열에 대해서 부재 또는 부재들(1)을 한 번 이상 회전 운동시키는 단계를 포함하며, 개별의 발생원(2)의 선형 열 또는 열들은 부재 또는 부재들의 회전축 또는 회전축들에 평행하게 배치하는 것을 특징으로 한다.