压力式流量控制装置及其流量控制开始时的超量防止方法

摘要

本发明的压力式流量控制装置，是具备：设有将流体入口及流体出口间连通的流体通路及将流体通路及排气出口间连通的排气通路的本体、及被固定于本体的流体入口侧将流体通路的上游侧开闭的压力控制用控制阀、及检出其下游侧的流体通路内压的第1压力感测器、及设在比前述排气通路的分歧处更下游的流体通路内的限流孔、及将前述第1压力感测器的下游侧的流体通路开闭的开闭阀、及将前述排气通路开闭的排气用阀。藉由在由前述压力式流量控制装置所进行的流量控制开始前将排气用阀作动，将压力控制用控制阀及开闭阀之间的流体通路空间内强制排气，就可防止流量控制开始时的超量。