发明名称 |
垂直奈米线电晶体通道的图案化及具有定向自组装的闸极;PATTERNING OF VERTICAL NANOWIRE TRANSISTOR CHANNEL AND GATE WITH DIRECTED SELF ASSEMBLY |
摘要 |
定向自组装(DSA)材料或双嵌段共聚物系可基于微影操作来图案化特征,该等特征最终界定一垂直奈米线电晶体之一通道区域及一闸极电极。在实施例中,DSA材料系被局限于利用微影术图案化之一导引开口中。在实施例中,通道区域与闸极电极材料系对准于在DSA材料中之分化区域的边缘。 |
申请公布号 |
TW201541526 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
申请号 |
TW104124535 |
申请日期 |
2013.11.14 |
申请人 |
英特尔股份有限公司 INTEL CORPORATION |
发明人 |
奈赫斯 保罗 NYHUS, PAUL A.;席发库玛 史汪米纳森 SIVAKUMAR, SWAMINATHAN |
分类号 |
H01L21/336(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 |
主权项 |
|
地址 |
美国 US |