发明名称 |
检查装置;APPARATUS FOR TESTING |
摘要 |
本发明的检查装置,包括:第一装载单元,用于装载基板;移动单元,将装载于上述第一装载单元的上述基板移动至初始位置;往复单元,沿上述基板的移送路径移送上述初始位置的上述基板;对齐单元,位于上述基板的移送路径上并确认上述基板的对齐状态;检查单元,位于上述基板的移送路径上的上述对齐单元的下游并检查上述基板的通电状态;及第二装载单元,用于装载经上述检查单元检查的上述基板。本发明的检查装置可自动完成对基板的通电检查。 |
申请公布号 |
TW201541101 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
申请号 |
TW103115759 |
申请日期 |
2014.04.30 |
申请人 |
佰欧特有限公司 BIOPTRO CO., LTD. |
发明人 |
金完洙 KIM, WAN SOO;郑尚宪 JOUNG, SANG HUN |
分类号 |
G01R31/28(2006.01);G01R31/02(2006.01) |
主分类号 |
G01R31/28(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
张煌壠 |
主权项 |
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地址 |
南韩 KR |