奈米微影用之有机底抗反射涂覆组成物;ORGANIC BOTTOM ANTIREFLECTIVE COATING COMPOSITION FOR NANOLITHOGRAPHY

摘要

本发明系提供一种抗反射涂覆组成物。本发明之抗反射涂覆组成物有用于预防拉回(pull-back)现象(即在热固化过程中，抗反射涂覆层会于基板图案之一角裂开(tears)者)，并增进图案之沟槽填充效能，此系由于有交联剂连结至组成物中之聚合物，且组成物中低分子量交联剂之含量最小化以调节热固化启动温度。