METHOD OF FABRICATING SOLAR CELL COMPRISING BUFFER LAYER FORMED BY ATOMIC LAYER DEPOSITION

摘要

본 발명은 (a) 기판 상에 후면전극층을 형성하는 단계; (b) 상기 후면전극층 상에 광흡수층을 형성하는 단계; (c) 상기 광흡수층이 노출되어 형성된 광흡수층 산화막 표면을 처리하는 단계; (d) 상기 표면 처리된 광흡수층 산화막 상에 버퍼층을 원자층 증착법으로 형성하는 단계; 및 (e) 상기 버퍼층 상에 전면전극층을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 것이다.