| 摘要 |
第１の形態では、本発明は、流体サンプルを分析するためのデバイスに関する。このデバイスは、デバイスを通って毛細管力により流体サンプルが伝達されるように設計された、流体基板中に埋め込まれたマイクロ流体素子と、マイクロ流体素子に接続された流体サンプルを提供する手段とを含む流体基板と、流体基板に取り付けられ、少なくとも部分的に流体基板を覆い、少なくとも部分的にマイクロ流体素子を閉じる蓋と、を含み、流体基板はシリコン流体基板であり、蓋はＣＭＯＳチップである。第２の形態では、本発明の具体例は、そのようなデバイスの製造方法に関する。この方法は、流体基板を提供する工程と、蓋を提供する工程と、ＣＭＯＳ互換接合プロセスを用いて、流体基板を少なくとも部分的に閉じように流体基板に蓋を取り付ける工程とを含む。 |
