固着磨料抛光头及其抛光方法

摘要

固着磨料抛光头及其抛光方法，涉及光学加工领域，解决了现有机械小工具抛光方法存在的抛光头制作工艺复杂、抛光精度低的问题，固着磨料抛光头，包括：成圆饼状的固着磨料抛光头基体，设置在固着磨料抛光头基体中心的安装孔，等间距均匀分布于固着磨料抛光头基体边缘表面并通过胶粘固定的固着磨料抛光垫层，胶粘固定在所述固着磨料抛光垫层表面的固着磨料抛光层。本发明的抛光头制作工艺简单，使用时较为方便可靠，本发明采用固着磨料抛光头对光学非球面元件进行抛光，可以对不同形状、口径的光学非球面元件进行有效抛光，快速形成可靠的抛光工艺，抛光过程中通过控制抛光接触面积得到稳定的去除函数，有效地提高抛光效率与抛光精度。

主权项

使用固着磨料抛光头进行抛光的方法，其特征在于，该方法的条件和步骤如下：测定光学非球面元件(6)的初始面形误差，规划固着磨料抛光层(2)与光学非球面元件(6)的抛光接触面积，确定进给方式及进给路径，计算固着磨料抛光头(1)在不同位置的进给速度，生成加工文件，对刀并调整冷却水位置，保证抛光接触区域充分冷却，检查各个环节开始抛光，抛光过程中保持抛光接触面积与压入深度不变，并保证抛光接触区域冷却充分，抛光完成后，重新检测光学非球面元件(6)的面形，若面形精度满足设计要求，则完成抛光；若面形精度不满足设计要求，则利用光学非球面元件(6)的初始面形误差重新计算进给速度并生成加工文件，再次进行抛光加工，通过多次的检测与反复迭代抛光，最终使光学非球面元件(6)的面形精度满足设计要求。