一种扫描电镜探针电流检测装置和一种扫描电镜

摘要

本发明提供一种扫描电镜探针电流检测装置和一种扫描电镜，其中的扫描单元在正扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束不发生偏转，检测电路不进行电子束的采样操作，此时电子束正常通过镜筒，打到样品表面，实现对样品的成像。扫描单元在回扫阶段时，偏转单元控制其中的电子束发生偏转，检测电路进行电子束的采样操作，由此得到探针电流的数值。这一过程完全不需要移动样品台进行。由于回扫阶段电子束不参与成像，所以利用回扫阶段进行探针电流检测不会中断扫描电镜的图像采集，在电镜图像采集的同时实时检测探针电流的变化，高效地完成进行探针电流检测。同时由于探针电流检测不需要移动样品台进行，因此对样品台的精度要求可以有所降低。

主权项

一种扫描电镜探针电流检测装置，其特征在于，设置于扫描电镜的镜筒内，包括，主控制器，偏转单元、法拉第杯和检测电路，其中：所述偏转单元，设置于电子束发生器和扫描单元之间，接收电子束发生器射出的电子束，控制电子束是否发生偏转；所述法拉第杯，设置于所述偏转单元输出的电子束的偏转方向上，收集偏转的电子束；所述检测电路，用于对所述法拉第杯中收集的电子束进行检测；所述主控制器，用于控制所述偏转单元、所述法拉第杯和所述扫描单元的工作状态，以实现：所述扫描单元在正扫阶段时，所述偏转单元控制其中的电子束不发生偏转；所述扫描单元在回扫阶段时，所述偏转单元控制其中的电子束发生偏转。