发明名称 |
一种倒装芯片键合的预对准系统及方法 |
摘要 |
本发明提供了一种倒装芯片键合的预对准系统及方法,该预对准系统包括:倒装芯片蘸胶结构、上视光学结构和倒装芯片贴装头,倒装芯片蘸胶结构包括:蘸胶板;与蘸胶板两侧滑动连接的机械滑轨;驱动机械滑轨滑动的电机;上视光学结构包括:固定于机械滑轨之间、且位于蘸胶板下方的转折棱镜;获取倒装芯片图像的工业相机;其中,倒装芯片贴装头拾取一倒装芯片,并按照第一运动轨迹运动到蘸胶板上方进行蘸胶,倒装芯片蘸胶完成后,倒装芯片贴装头向上抬起,同时机械滑轨带动蘸胶板按照第二运动轨迹避开转折棱镜滑动,然后由上视光学结构对蘸胶后的倒装芯片进行预对准。通过本发明提供的预对准系统大大提高了键合的精度和效率,满足高精度装片的要求。 |
申请公布号 |
CN105006445A |
申请公布日期 |
2015.10.28 |
申请号 |
CN201510363265.2 |
申请日期 |
2015.06.26 |
申请人 |
北京中电科电子装备有限公司 |
发明人 |
唐亮;李恺;叶乐志 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;安利霞 |
主权项 |
一种倒装芯片键合的预对准系统,其特征在于,包括:安装于工作台上的倒装芯片蘸胶结构(1),所述倒装芯片蘸胶结构(1)包括:用于倒装芯片进行蘸胶的蘸胶板(101);与所述蘸胶板(101)两侧滑动连接的机械滑轨(102);与所述机械滑轨(102)电连接、用于驱动所述机械滑轨(102)滑动的电机;安装于所述工作台上的上视光学结构(2),所述上视光学结构(2)包括:固定于所述机械滑轨(102)之间、且位于所述蘸胶板(101)下方的转折棱镜(201);用于获取所述倒装芯片图像的工业相机(202);其中,所述转折棱镜(201)与所述工业相机(202)通过所述工业相机(202)的镜头(2021)进行连接,以及位于所述蘸胶板(101)上方、用于拾取所述倒装芯片的倒装芯片贴装头(3);其中,所述倒装芯片贴装头(3)拾取一倒装芯片,并按照第一运动轨迹运动到所述蘸胶板(101)上方进行蘸胶,所述倒装芯片蘸胶完成后,所述倒装芯片贴装头(3)向上抬起,同时所述机械滑轨(102)带动所述蘸胶板(101)按照第二运动轨迹避开所述转折棱镜(201)滑动,然后由所述上视光学结构(2)对蘸胶后的所述倒装芯片进行预对准。 |
地址 |
100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室 |