发明名称 X-RAY NONDESTRUCTIVE TESTING DEVICE
摘要 <p>저장된 설계 정보에 기초하여 제작되고, 기지의 X선 흡수 계수의 기재, 및 이 기재 중에 배치되어서 기재의 X선 형성 흡수 계수와 상이한 기지의 X선 흡수 계수의 피측정 대상 부재를 구비한 물품에 X선을 조사하고, 투과한 X선의 선량을 측정하여, 이 선량으로부터 상기 피측정 대상물의 두께 치수를 취득하는 X선 비파괴 검사 장치이다. 물품에 X선을 조사하는 X선원과, 물품 상의 서로 다른 적어도 2개소를 투과한 X선의 선량을 검출하는 검출 수단과, 이 검출 수단이 선량을 검출하는 개소를, 미리 기억된 설계 정보에 기초하여 정하고, 조사 개소의 설정 시에 물품 상의 서로 다른 2개소에 있어서의 X선의 투과 경로의 차가 피측정 대상물이 되도록 이들 개소가 쌍을 이루는 조로서 특정하는 검출 위치 결정 수단과, 검출 수단을 검출 위치 결정 수단이 쌍의 조로서 특정한 개소까지 이동시키는 구동 수단과, 검출 수단이 검출한 X선의 선량으로부터 피측정 대상물의 두께 치수를 산출하는 연산 수단을 구비한다.</p>
申请公布号 KR20150121024(A) 申请公布日期 2015.10.28
申请号 KR20157023958 申请日期 2013.03.04
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SUGIMOTO NAOZO;NISHIZAKI TOSHIHIKO;INOUE MASAHIRO;YASUMA MASUO;NAKAMURA YU
分类号 G01B15/02;G01N23/02 主分类号 G01B15/02
代理机构 代理人
主权项
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