一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置

摘要

本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其是一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置；包括研磨机研磨面板的内齿圈和外齿圈，所述内齿圈和外齿圈之间有游心轮，所述游心轮与内齿圈和外齿圈相齿合；所述游心轮上均匀排布有毛刷。有益技术效果是：研磨机研磨时，游心轮在内齿圈和外齿圈的旋转作用下，带动游心轮绕着内齿圈的轴心转动，由于游心轮上均匀排布有毛刷，可以将工作盘上的尘垢和其他杂质清理干净。在研磨的同时可以进行清理操作，不需要人工清理，省时省力，效率高。

主权项

一种晶片研磨抛光机下工作盘清理装置，包括研磨机研磨面板的内齿圈和外齿圈，其特征在于：所述内齿圈和外齿圈之间有游心轮，所述游心轮与内齿圈以及外齿圈相齿合；所述游心轮上均匀排布有毛刷。