| 发明名称 |
BIAS IMPRESSION ETCHING AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6214429(A) |
申请公布日期 |
1987.01.23 |
| 申请号 |
JP19850152159 |
申请日期 |
1985.07.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKUDAIRA SADAYUKI;NISHIMATSU SHIGERU;SUZUKI KEIZO;NINOMIYA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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