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发明名称 MEMS DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING A MEMS DEVICE
摘要 <p>강성 백플레이트를 구비한 MEMS 디바이스, 및 강성 백플레이트를 구비한 MEMS 디바이스를 제조하는 방법을 개시한다. 일 구현예에서, 디바이스는 기판, 및 기판에 의해 지지되는 백플레이트를 포함한다. 백플레이트는 신장형 돌출부들을 구비한다.</p>
申请公布号 KR101563798(B1) 申请公布日期 2015.10.27
申请号 KR20140005362 申请日期 2014.01.16
申请人 发明人
分类号 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;H04R19/04;H04R31/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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