LIQUID RECOVERY SYSTEM IMMERSION EXPOSURE APPARATUS IMMERSION EXPOSING METHOD AND DEVICE FABRICATING METHOD
摘要
<p>액체 회수 시스템은 액침 노광 장치로써 이용된다. 액체 회수 시스템은, 제 1 개구부; 제 1 개구부와 대향하는 물체 상의 액체가 제 1 개구부를 통해 유입가능한 공극부; 공극부로 유입되는 액체의 적어도 일부를 다공성 부재를 통해 흡인하는 액체 회수부; 및 제 1 개구부와 상이한 제 2 개구부를 포함한다. 공극부가 제 2 개구부를 통해 대기에 개방되어 있다.</p>
