| 摘要 |
<p>본 발명의 진공 성막 장치는, 진공 챔버와, 진공 챔버 내에 배치되는 동시에 성막 대상인 시트 형상의 기재가 감기는 성막 롤과, 성막 롤의 내부에 설치되고 당해 성막 롤의 표면에 자장을 형성하는 자장 발생부를 구비한 진공 성막 장치이며, 자장 발생부는, 성막 롤의 축방향을 따라 배치된 내측 자석과, 내측 자석과 반대인 극성을 갖고 내측 자석을 환상으로 둘러싼 외측 자석을 갖고 있으며, 내측 자석은, 기재의 성막면에서 본 투영에 있어서 성막 롤에 기재 W가 감겨 있는 범위의 폭보다, 성막 롤의 축방향을 따라 협폭으로 되도록 형성되고, 또한, 기재 W가 감기는 범위 내에 배치되어 있다.</p> |
