发明名称 PROCEDE DE TRANSFERT D'UNE COUCHE UTILE
摘要 <p>Procédé de transfert d'une couche utile (3) sur un support (4) comprenant les étapes suivantes de : - formation d'un plan de fragilisation (2) par implantation d'espèces légères dans un premier substrat (1), de manière à former une couche utile (3) entre ce plan et une surface du premier substrat (1) ; - application du support (4) sur la surface du premier substrat (1) pour former un ensemble à fracturer (5) présentant deux faces exposées (S1, S2) ; - traitement thermique de fragilisation de l'ensemble à fracturer (5) ; - initiation et propagation auto-entretenue d'une onde de fracture dans le premier substrat (1) le long du plan de fragilisation (3). L'une au moins des faces (S1, S2) de l'ensemble à fracturer (5) est en contact intime, sur une zone de contact, avec un élément absorbant (6a, 6b) apte à capter et à dissiper des vibrations acoustiques émises lors de l'initiation et/ou la propagation de l'onde de fracture.</p>
申请公布号 FR3020175(A1) 申请公布日期 2015.10.23
申请号 FR20140053400 申请日期 2014.04.16
申请人 SOITEC;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 LANDRU DIDIER;KONONCHUK OLEG;BEN MOHAMMED NADIA;MASSY DAMIEN;MAZEN FREDERIC;RIEUTORD FRANCOIS
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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