| 摘要 |
스퍼터링 타깃에 사용되는, LiCoO를 포함하는 소결체이며, 상기 소결체의, 스퍼터링면에 대응하는 면의 면적 A가 200㎠ 이상 1500㎠ 이하, 소결체 전체의 상대 밀도가 75％ 이상, 상기 스퍼터링면에 대응하는 면에 있어서, 상기 스퍼터링면에 대응하는 면에 있어서, 포어가 차지하는 면적률이 10％ 이상인 영역의 면적을 B1로 하였을 때, 상기 면적 A에 대한 상기 B1의 비율이 50％ 이상임과 함께, 상기 스퍼터링면에 대응하는 면에 있어서, 비저항이 1.0×10Ω·㎝ 이하를 만족시키는 영역의 면적 B2가, 상기 면적 A의 25％ 이상을 차지한다. |
