描绘装置

摘要

本发明涉及描绘装置。该描绘装置的检查部具有：光量传感器，其在位于描绘光量测定位置时接受来自描绘头的投影光学系统的光；采光头，其插入在描绘头的光路上，取得从光源朝向空间光调制设备的至少一部分光；束状光纤以及检查头，将采光头取得的光向位于中间光量测定位置的光量传感器引导。这样，在描绘装置中，通过同一光量传感器取得来自描绘头的投影光学系统的光的光量和从描绘头的光源和空间光调制设备之间取得的光的光量并进行比较。因此，即使光量传感器的光学特性发生变化，也能够高精度地检测描绘头的劣化因素。

主权项

一种描绘装置，对对象物照射光来描绘图案，其特征在于，具有：描绘头，其对对象物照射被空间调制后的光，保持部，其保持所述对象物，并且使所述对象物相对于所述描绘头移动，来使来自所述描绘头的光的照射区域在所述对象物上扫描，检查部，其检查所述描绘头；所述描绘头具有：光源，其射出光，空间光调制设备，照明光学系统，其将来自所述光源的光向所述空间光调制设备引导，投影光学系统，其将通过所述空间光调制设备进行空间调制后的光向所述保持部引导；所述检查部具有：光量传感器，其在位于相对于所述描绘头被决定的描绘光量测定位置时接受来自所述投影光学系统的光，传感器移动机构，其使所述光量传感器在所述描绘光量测定位置与预先决定的中间光量测定位置之间移动，采光头，其插入在从所述光源至所述空间光调制设备为止的光路上，取得从所述光源朝向所述空间光调制设备的至少一部分光，测定光学系统，其将被所述采光头取得的光向位于所述中间光量测定位置的所述光量传感器引导，采光头移动机构，其将所述采光头插入在所述光路上，另外，使所述采光头从所述光路上离开。