发明名称 调整导线键合机上超音波键合能量的方法
摘要
申请公布号 TWI505383 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW102113709 申请日期 2013.04.18
申请人 库利克和索夫工业公司 发明人 布伦纳 约翰W
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 侯德铭 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项 一种调整导线键合机上的超音波键合能量的方法,包括以下步骤:a)提供无空气球挤压与超音波键合能量之间的一基准关系;b)确定一目标导线键合机上的无空气球挤压与超音波键合能量之间的一实际关系;以及c)调整该目标导线键合机的至少一个超音波键合能量设定,使得该目标导线键合机的该实际关系更接近该基准关系。
地址 美国