微影装置及元件制造方法

主权项

一种微影装置，其包含：一光学圆柱，该光学圆柱经组态以将一光束投影于一基板之一目标部分上；一致动器，该致动器用以相对于该基板移动该光学圆柱或其一部分；及一补偿元件，该补偿元件用以减少藉由该光学圆柱或其部分通过一介质之移动而在该光学圆柱或其部分上导致之一热负荷之一效应，其中该补偿元件包含一冷却器，该冷却器用以冷却该可移动光学圆柱或其部分，其中该光学圆柱包含：一可控制器件，该可控制器件用以选择性地提供一辐射光束；及一投影系统，该投影系统经组态以将该光束投影至该目标部分上，该可控制器件包含一自发射对比元件。