发明名称 炭元件及炭元件之制法
摘要
申请公布号 TWI505399 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW100113861 申请日期 2011.04.21
申请人 揖斐电股份有限公司 发明人 箕浦诚司;大桥纯;伊藤敏树;石田孝二;小川史仁
分类号 H01L21/683;C23C16/54 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种炭元件,其具有一孔洞于其内、与受到一陶瓷被覆膜的覆盖的一外表面,该元件包含:二片结合在一起的炭板构件;其中该孔洞是由一沟槽与一配对部所定义,该沟槽是形成于该些炭板构件的至少一个的一配对表面上,该配对部是该些炭板构件的另一个的一部分,且该配对部与该沟槽对向;该孔洞的一内表面包含该沟槽的一表面,该内表面是完全被一陶瓷被覆膜覆盖;以及该些炭板构件是藉由一耐热性的接着剂结合在一起,该配对表面位于将已接合的该炭板构件的厚度分成二等分的位置。
地址 日本
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