感光性树脂组合物、使用其的硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置及有机EL显示装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其不仅可维持高感度，而且可使耐化学品性以及硬化膜密接性良好。上述感光性树脂组合物含有：包含以下聚合物的聚合物成分：包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的结构单元以及(a2)具有交联性基(其中，嵌段异氰酸酯基以及OH基除外)的结构单元的聚合物、或者满足具有结构单元(a1)的聚合物以及具有结构单元(a2)的聚合物的至少一个的聚合物；光酸产生剂；以及溶剂；并且聚合物成分中，包括结构单元(a1)以及结构单元(a2)的聚合物、包括结构单元(a1)的聚合物以及包括结构单元(a2)的聚合物的至少一种中，包含至少一种(a4)具有嵌段异氰酸酯基的结构单元，或者包含至少一种包括结构单元(a4)且不含结构单元(a1)以及结构单元(a2)的聚合物。

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有：(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的结构单元、以及(a2)具有交联性基(其中，嵌段异氰酸酯基以及OH基除外)的结构单元的聚合物，或者(2)包括所述结构单元(a1)的聚合物以及包括所述结构单元(a2)的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂；并且所述聚合物成分中，包括所述结构单元(a1)以及所述结构单元(a2)的聚合物、包括所述结构单元(a1)的聚合物以及包括所述结构单元(a2)的聚合物的至少一种中，包括至少一种(a4)具有嵌段异氰酸酯基的结构单元，或者包含至少一种(3)包括所述结构单元(a4)且不含所述结构单元(a1)以及所述结构单元(a2)的聚合物。