| 主权项 |
一种晶圆测试特殊图案的检验方法，适于由一测试机台判断一晶圆的测试图是否具有特殊图案，该方法包括下列步骤：区分该晶圆为多个测试区块(partition)，其中各所述测试区块包括多个晶片(die)；利用一探针卡(probe card)的多个接点(site)分别测试该晶圆的各所述测试区块中的所述晶片，取得该晶圆的一测试图(map)；累加该测试图的各所述测试区块内有缺陷及无缺陷之所述晶片的个数，分别进行卡方检定并计算一最大P值(P-value)，其中针对所述测试区块中的第i个测试区块，所述方法包括：利用公式(1)计算该第i个测试区块内有缺陷之所述晶片的卡方统计量，并利用公式(2)计算第一P值FPVi，其中Fi和EFi分别代表第i个测试区块中有缺陷晶片的真实数目及预测数目，而代表自由度为1的卡方分布：利用公式(3)计算该第i个测试区块内无缺陷之所述晶片的卡方统计量，并利用公式(4)计算第二P值PPVi，其中Pi和EPi分别代表第i个测试区块中无缺陷晶片的真实数目及预测数目：取该第一P值FPVi及该第二P值PPVi中的最大值做为该最大P值；判断所有测试区块之所述最大P值中的一最小值是否小于一门槛值；以及若该最小值小于该门槛值，则判定该晶圆的该测试图具有该特殊图案。 |
