发明名称 |
感光性组成物、树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案化硬化膜的制造方法及电子零件 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI505026 |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
TW103100569 |
申请日期 |
2014.01.08 |
申请人 |
JSR股份有限公司 |
发明人 |
樱井智彦;花村政暁 |
分类号 |
G03F7/004;C08K5/00;C08L25/18;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;郑婷文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹富闵 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
一种感光性组成物,其含有:(A)具有酚性羟基的树脂;(B1)具有至少2个恶唑啉基的交联剂;(B2)具有至少2个以-CH2OR所表示的基(式中,R为氢原子、碳数为1~10的烷基或乙醯基)的交联剂;以及(C)感光性酸产生剂。 |
地址 |
日本 |