发明名称 感光性组成物、树脂组成物、硬化膜及其制造方法、图案化硬化膜的制造方法及电子零件
摘要
申请公布号 TWI505026 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW103100569 申请日期 2014.01.08
申请人 JSR股份有限公司 发明人 樱井智彦;花村政暁
分类号 G03F7/004;C08K5/00;C08L25/18;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;郑婷文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹富闵 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种感光性组成物,其含有:(A)具有酚性羟基的树脂;(B1)具有至少2个恶唑啉基的交联剂;(B2)具有至少2个以-CH2OR所表示的基(式中,R为氢原子、碳数为1~10的烷基或乙醯基)的交联剂;以及(C)感光性酸产生剂。
地址 日本