在半导体晶圆厂中以设计为基础的制程最佳化装置

主权项

一种在半导体晶圆厂中以设计为基础的制程最佳化装置，包括：一分散式计算系统；一设计扫描器，该设计扫描器系执行全晶片设计扫描以及设计资料分割之高产量的设计资料分析器；一以设计为基础的制程最佳化软体模组，该软体模组系在该分散式计算系统中执行；其中该以设计为基础的制程最佳化软体模组透过该设计扫描器扫瞄并分析一半导体元件的设计资料且执行该全晶片设计扫描以及该设计资料分割，以将该半导体元件的制造配方最佳化，并应用于该半导体元件的制造流程之中。