| 主权项 |
一种基板处理模组，包含：一下方处理室，其具有一开放式上半部，该下方处理室具有一通道，容许一基板从其一侧边通过；复数个承座，其每一顶端表面上都放置该基板，该等复数个承座都放置在该下方处理室内并且固定在该下方处理室内的一预设中心四周；一旋转构件，其位于该下方处理室的该预设中心上，该旋转构件可绕着该预设中心旋转；复数个固定器，其连接至该旋转构件并且与该旋转构件一起旋转，该等复数个固定器具有于其上放置该基板的至少一放置表面；一驱动模组，其连接至该旋转构件，该驱动模组利用驱动该旋转构件，将该等固定器之一者移动到对应至该通道的一输送位置；复数个外支撑物，自该下方处理室之一底表面穿出，而分别设置于该等承座外侧；以及复数个内支撑物，各该内支撑物系设置于该外支撑物内侧并与该外支撑物分开设置，使得该内支撑物与该外支撑物之间形成一排气空间；以及其中该下方处理室包括含沿着其下方壁边缘放置的复数个排气口，该等排气口分别位于该等承座外面而可与该排气空间相连通，以将该排气空间内的一副产品引导至该下方壁边缘。
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