一种硅基自密封式微推进器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种硅基自密封式微推进器及其制备方法，用于皮卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。该推进器主要包括位于SOI硅片器件层的喷嘴阵列部分和衬底层的燃烧室阵列部分、玻璃片上表面的点火器阵列部分，喷嘴阵列部分是在SOI硅片的器件层部分利用湿法腐蚀形成的；燃烧室阵列部分是在SOI硅片的衬底层利用干法刻蚀形成的空腔阵列组成的，各空腔内填充固体推进剂；点火器阵列部分由玻璃上表面溅射的点火电阻阵列、点火导线和焊盘组成，各点火电阻阵列与各燃烧室阵列位置相对应。本发明的有益效果是：将燃烧室14密封在SOI硅片埋氧层10和玻璃片9之间，有效防止其受潮、推进剂脱落或者其他外界影响，提高了点火的成功率。

主权项

硅基自密封式推进器,其特征在于，主要包括位于SOI硅片器件层的喷嘴阵列部分和衬底层的燃烧室阵列部分、玻璃片上表面的点火器阵列部分，喷嘴阵列部分是在SOI硅片的器件层部分利用湿法腐蚀形成的；燃烧室阵列部分是在SOI硅片的衬底层利用干法刻蚀形成的空腔阵列组成的，各空腔内填充固体推进剂；点火器阵列部分由玻璃上表面溅射的点火电阻阵列、点火导线和焊盘组成，所述点火电阻通过点火导线与焊盘连接；各点火电阻阵列与各燃烧室阵列位置相对应；各相应的喷嘴阵列和燃烧室阵列由SOI硅片的埋氧层隔开。