激光器放电腔的六自由度调节机构

摘要

本发明公开了一种激光器放电腔的六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；激光器放电腔的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为激光器放电腔的光轴方向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；两个调节器的万向轮装置共同调节激光器放电腔在XY平面内的平移和在Z轴的转动；两个调节器的升降装置共同调节激光器放电腔在Z轴方向的高度和绕XY平面的X、Y轴的转动。本发明可以实现对激光器放电腔六个自由度的粗调整及细微调整，并且结构简单、易于加工、方便安装。

主权项

一种激光器放电腔的六自由度调节机构，包括两个调节器，该两个调节器分别安装于激光器放电腔的底面上沿光轴方向的前后两端，且每个调节器包括一个万向轮装置和两个升降装置；所述激光器放电腔的安装平面为XY平面，该XY平面的X轴方向为激光器放电腔的光轴方向，该XY平面的Y轴方向为垂直于X轴的方向，Z轴方向是垂直于该安装平面的方向；所述两个调节器的万向轮装置共同调节所述激光器放电腔在XY平面内的平移和在Z轴的转动；所述两个调节器的升降装置共同调节所述激光器放电腔在Z轴方向的高度和绕所述XY平面的X、Y轴的转动。