光学元件的制造方法和表面加工装置

摘要

本光学元件的制造方法是具有防反射部的透镜的制造方法，其中该防反射部在凹透镜面（1a）上具有在与光轴交叉的方向上延伸的凹凸形状，该光学元件的制造方法具有：主体加工工序，形成具有凹透镜面（1a）的透镜主体；成型工序，在凹透镜面（1a）上涂布成型用树脂，将在能够变形的基体部（5A）的表面上形成有转印防反射部的成型面部（5a）的细微结构形成用模按压在凹透镜面（1a）上，使成型用树脂硬化；以及脱模工序，使与成型面部（5a）的面顶有关的力矩进行作用，使基体部（5A）变形，由此使细微结构形成用模（5）从其外周侧起在防反射部的凹凸形状延伸的方向上逐渐离开，进行脱模。

主权项

一种光学元件的制造方法，该光学元件在具有曲率的光学面上具备多个凹凸形状的细微结构，所述多个凹凸形状的细微结构连接起来的延伸方向与光轴交叉，该光学元件的制造方法具有：主体加工工序，形成具有所述光学面的光学元件主体；成型工序，在所述光学面上涂布成型用树脂，将在能够变形的基体的表面上形成有转印所述细微结构的成型面的细微结构形成用模按压在所述光学面上，使所述成型用树脂硬化；以及脱模工序，使与所述成型面的面顶有关的力矩对所述细微结构形成用模进行作用，使所述基体变形，由此使所述细微结构形成用模从其外周侧起在所述凹凸形状延伸的方向上逐渐离开，进行所述细微结构形成用模的脱模；其中，在所述脱模工序中，至少在从所述外周侧对所述细微结构形成用模进行脱模时，按住所述细微结构形成用模的中心部。