发明名称 |
一种工艺腔室的压力控制方法和装置 |
摘要 |
本申请实施例提供了一种工艺腔室的压力控制方法,其中,所述的方法包括:获取所述工艺腔室的压力偏差值;若所述压力偏差值小于预设阈值,则读取所述工艺腔室的当前压力值;当所述工艺腔室的当前压力值不等于预设的目标压力值与所述压力偏差值之和时,调整所述工艺腔室的压力。本申请实施例在压力偏差值处于可接受的范围时,根据所述工艺腔室的当前压力值、预设的目标压力值以及压力偏差值三者之间的关系,调整所述工艺腔室的压力,从而实现了在工艺规可能存在偏差的情况下,准确地控制了工艺腔室的压力,使工艺腔室的压力达到目标压力,而且,无需对工艺规进行硬件调零,避免了造成工艺规的损耗。 |
申请公布号 |
CN104991581A |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
CN201510309750.1 |
申请日期 |
2015.06.08 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
马平 |
分类号 |
G05D16/20(2006.01)I |
主分类号 |
G05D16/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 |
代理人 |
赵娟 |
主权项 |
一种工艺腔室的压力控制方法,其特征在于,包括:获取所述工艺腔室的压力偏差值;若所述压力偏差值小于预设阈值,则读取所述工艺腔室的当前压力值;当所述工艺腔室的当前压力值不等于预设的目标压力值与所述压力偏差值之和时,调整所述工艺腔室的压力。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 |