半导体之配置及其形成方法;SEMICONDUCTOR ARRANGEMENT AND FORMATION THEREOF

摘要

本文提供半导体配置及其形成方法。半导体配置包括：与第一主动区域之基本上平坦的顶表面接触的导电接触，此接触系介于具有基本上垂直之外侧表面的第一对位间隔物及第二对位间隔物之间并与其接触。相较形成于不具有基本上垂直之外侧表面的对位间隔物之间的接触，形成于第一对位间隔物及第二对位间隔物之间的接触具有更希望的接触形状。相较于非基本上平坦的主动区域，第一主动区域基本上平坦的表面是表示第一主动区域基本上未受损的结构。相较于受损的第一主动区域，基本上未受损的第一主动区域对于接触具有更大的接触面积。