发明名称 保持装置
摘要 本发明之课题在藉由吐出流体而旋转流或放射流让负压在与板状的构件之间产生来保持该构件的保持装置,防止在该构件的部分形成水痕,且该部分是与旋转流的中心部或放射中心部对置。;藉由吐出流体让负压在与板状的构件之间产生来保持该构件的保持装置,是具备有:柱状的本体;被形成在前述本体面对前述构件的平板状的端面;被形成在前述端面的凹部;对前述凹部内吐出流体,而形成旋转流的1以上的流体通路;以及将液体供给到前述构件的部分的液体供给手段,该手段是与前述旋转流的中心部对置。
申请公布号 TW201539635 申请公布日期 2015.10.16
申请号 TW103141792 申请日期 2014.12.02
申请人 哈莫技术股份有限公司 HARMOTEC CO., LTD. 发明人 岩坂 IWASAKA, HITOSHI;徳永英幸 TOKUNAGA, HIDEYUKI;河西裕二 KASAI, YUJI;舆石克洋 KOSHIISHI, KATSUHIRO
分类号 H01L21/677(2006.01);B65G49/07(2006.01);B65G49/06(2006.01);B25J15/06(2006.01) 主分类号 H01L21/677(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本 JP