| 发明名称 |
晶圆形物品的液体处理设备;APPARATUS FOR LIQUID TREATMENT OF WAFER SHAPED ARTICLES |
| 摘要 |
本发明系关于一种晶圆形物品的处理设备，包含一旋转夹盘，用以在预定直径之晶圆形物品上进行处理操作期间，支撑该晶圆形物品并使其旋转。一液体收集器系环绕该旋转夹盘，且包含第一内表面。该第一内表面包含第一导电材质。该收集器更包含第一导电路径以使该第一导电材质接地。 |
| 申请公布号 |
TW201539619 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
| 申请号 |
TW104104923 |
申请日期 |
2015.02.13 |
| 申请人 |
兰姆研究股份公司 LAM RESEARCH AG |
发明人 |
史沃森巴契 莱霍 SCHWARZENBACHER, REINHOLD;普利斯卡 米兰 PLISKA, MILAN |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01);H01L21/687(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
许峻荣 |
| 主权项 |
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| 地址 |
奥地利 AT |
