陶瓷环测试装置;CERAMIC RING TEST DEVICE

摘要

一种用于测试腔室元件(例如陶瓷环)之电性特性的测试装置，该测试装置包括外部导体及内部导体，该内部导体设置于该外部导体内且与该外部导体电性隔离。该外部导体具有基座、顶部及设置于该基座与该顶部之间的内部体积侧壁。该内部导体具有顶部部分及底部部分，该顶部部分具有第一直径且该底部部分具有第二直径，其中该第二直径大于该第一直径。样品面积定义于该外部导体之该基座与该内部导体之该底部部分之间，且该样品面积经配置以接收腔室元件。该腔室元件的电性特性可基于施加信号至该外部导体或该内部导体之至少一者而量测。